美國API 激光干涉儀 XD LASER核心型號與測量參數(shù)

XD Laser 系列按測量維度分為 4 種主流配置：

XD1 (1D)：線性定位誤差、重復(fù)定位

XD3 (3D)：1D 參數(shù) + XX/YY 雙向直線度

XD5 (5D)：3D 參數(shù) + 俯仰角、偏擺角

XD6 (6D)：5D 參數(shù) + 滾動角（完整六自由度）

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

激光源：穩(wěn)頻氦氖（He-Ne），波長穩(wěn)定性 ±0.05 ppm

線性精度：±0.5 ppm（每米誤差是 0.5 微米）

線性分辨率：0.001 μm（1 納米）

角度精度：

俯仰 / 偏擺：(1.0 + 0.1/m) 角秒

滾動角：1.0 角秒

測量范圍：標(biāo)準(zhǔn) 40 m（1D 可選 80 m）

數(shù)據(jù)采集：50 kHz（支持動態(tài) / 高速測量）

重量與尺寸：激光頭 3.8 kg，體積 230×108×102 mm